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厭氧高溫試驗箱主要技術(shù)特點

發(fā)布時間: 2022-05-19  點擊次數(shù): 1341次

     厭氧高溫試驗箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化嫁、銀酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示實驗室等生產(chǎn)及科研部門也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

厭氧高溫試驗箱主要技術(shù)特點哪些功能?

   1.溫度范圍:(環(huán)境溫度+20)℃~200℃(可按客戶要求做)

   2.升溫時間:環(huán)境溫度 → +200℃≤35min

   3.氮氣導(dǎo)入:降溫過程開 兩路閥,以保持正壓狀態(tài)路氮氣,各每支路上裝有控制電磁閥和調(diào)節(jié)流量計,升溫(排氧)過程開 兩 路閥,以保障能充分排氧。

   4.降溫時間:200℃~80℃時,約50分鐘


   5.通訊功能:S-485 接口, 具有本地和遠(yuǎn)程通訊功能( 需配集中監(jiān)控軟件、 RS-485/RS-232 轉(zhuǎn)換器,需占用 PC 機(jī)的COM 口和USB 口各一個);最多可同時連接 16 臺設(shè)備,電纜累計長度最大 800m


安裝場地要求:

1.地面平整,通風(fēng)良好

2.設(shè)備周圍無強(qiáng)烈振動

3.設(shè)備周圍無強(qiáng)電磁場影響


4.設(shè)備周圍無易燃、腐蝕性物質(zhì)和粉塵


5.設(shè)備周圍留有適當(dāng)?shù)氖褂眉熬S護(hù)空間,如下圖所示:A:不小于60cm B:不小于120cm C:不小于60cm D: 不小于120cm

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